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矽片鏡面抛光

2014/11/5 10:43:56
矽片鏡面抛光

矽片鏡面抛光

詳細介紹

  以矽單晶錠為原料,經切片、磨片、抛光等加工工序,生産符合半導體器件要求的矽單晶片的矽...矽片抛光通常采用二氧化矽膠體抛光。這是一種化學機械抛光法。可以獲得基本無損傷層的抛光鏡面,滿足制作大規模和超大規模集成電路的要求。

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